利用有限元分析方法对SCSP器件内部粘结剂的溢出问题进行了研究.对粘结剂不同溢出高度的模型进行有限元建模分析,模拟结果能很好地和实验结果相吻合.为了有效减少由热应力引发产生的分层,模拟得到了粘结剂溢出高度的最佳控制范围.
doi:
10.3969/j.issn.1674-4926.2004.02.021
关键词:
SCSP 溢出高度 分层 有限元方法
作者:
金玮 桑文斌 张奇 滕建勇
作者单位:
上海大学材料科学与工程学院,上海,201800
刊名:
半导体学报
Journal:
CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS
年,卷(期):
2004, 25(2)
所属期刊栏目:
研究论文
分类号:
TN306
在线出版日期:
2004年03月25日(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
页数:
共5页
页码:
232-236
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