申请号 |
CN85100697 |
申请日 |
1985.11.23 |
公开(公告)号 |
CN85100697A |
公开(公告)日 |
1986.09.24 |
IPC分类号 |
C23F11/00; C23F13/02 |
申请(专利权)人 |
中国科学院物理研究所; |
发明人 |
陈立泉;肖超亮;薛荣坚; |
优先权号 |
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优先权日 |
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申请人地址 |
北京市603信箱; |
CPC分类号 |
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