用于具有活化干燥剂的显示装置的系统及方法
来源：中国凹凸棒土网 02-01 20:29
本发明揭示一种MEMS装置封装70，其包括一上面形成有一MEMS装置76的衬底72、一背板74、一密封件78及一位于所述封装内的无活性的干燥剂80。所述干燥剂80在所述封装组装完后通过受到环境变化或一活化物质的作用而得到活化。一种制造一MEMS装置的方法包括将一干燥剂活化并接触一上面形成有MEMS装置的衬底、一密封件及一背板，其中所述干燥剂置于所述衬底或背板上。
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申请号 |
CN200510105044 |
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申请日 |
2005.09.26 |
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公开（公告）号 |
CN1755487A |
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公开（公告）日 |
2006.04.05 |
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IPC分类号 |
G02F1/21; B81C1/00; G09G3/34; G02B26/00 |
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申请（专利权）人 |
IDC公司; |
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发明人 |
洛朗·帕尔玛蒂尔;威廉·J·卡明斯;布莱恩·J·加利;杰弗里·B·桑普塞尔; |
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优先权号 |
US60/613,280; US11/140,498 |
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优先权日 |
2004.09.27; 2005.05.27 |
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申请人地址 |
美国加利福尼亚州; |
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CPC分类号 |
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